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產(chǎn)品資料

晶圓級等離子活化系統(tǒng)

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  • 產(chǎn)品名稱:晶圓級等離子活化系統(tǒng)
  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品展商:燕園科技
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簡單介紹

晶圓級等離子活化系統(tǒng)

產(chǎn)品描述
產(chǎn)品介紹

整機結(jié)構(gòu)

load port系統(tǒng)分為前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元,前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設(shè)計

等離子體源

射頻等離子體源或雙頻等離子體源

反應(yīng)腔室

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計為雙反應(yīng)腔室,可根據(jù)需求定制單反應(yīng)腔室和多反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)

機械傳片

單臂或雙臂高精度機械手

Wafer升降

機械式Wafer pin升降結(jié)構(gòu),Wafer pin采用特定工藝處理

前真空泵

干式真空泵,根據(jù)安裝位置及工藝不同,選擇100-300m3/h規(guī)格

高真空真空泵

分子泵(水冷或CDA冷卻)

工藝壓力控制

自動調(diào)壓蝶閥

真空檢測

管道真空計、反應(yīng)腔室全量程真空計、工藝真空計、壓差開關(guān)

工藝氣體種類

標(biāo)準(zhǔn)配置高純Ar、N2O2,可增加其他高純工藝氣體

氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器(MFC

控制系統(tǒng)

基于工業(yè)電腦設(shè)計開發(fā)的人機交互系統(tǒng),系統(tǒng)設(shè)計人性化、操作簡單


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