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產品資料

晶圓級等離子清洗系統

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  • 產品名稱:晶圓級等離子清洗系統
  • 產品型號:
  • 產品展商:燕園科技
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簡單介紹

晶圓級等離子清洗系統

產品描述
產品介紹

整機結構

帶load port系統分為前端設備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元,前端EFEM系統與等離子體處理單元分體式設計

等離子體源

射頻等離子體源或雙頻等離子體源

反應腔室

標準設計為雙反應腔室,可根據需求定制單反應腔室和多反應腔室結構

機械傳片

單臂或雙臂高精度機械手

Wafer升降

機械式Wafer pin升降結構,Wafer pin采用特定工藝處理

真空泵

干式真空泵,根據安裝位置及工藝不同,選擇100-300m3/h規格。如工藝需求,可增加分子泵

工藝壓力控制

自動調壓蝶閥或固定旁通結構

真空檢測

管道真空計、反應腔室全量程真空計、工藝真空計

工藝氣體種類

標準配置Ar、N2、O2,可增加其他工藝氣體

氣體流量控制

質量流量控制器(MFC)

控制系統

基于工業電腦設計開發的人機交互系統,系統設計人性化、操作簡單

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